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AESD-2000 半导体器件全自动静电放电及门锁测试系统
支持HBM、MN、Latch-up测试的高效全自动测试系统
典型应用场景
半导体器件/集成电路(IC)日益向更高集成度和更高速度发展,对这些器件抗ESD和闩锁效应的可靠性评估也变得越来越重要。AESD-2000半导体器件全自动静电放电及闩锁测试系统是一款快速的、便捷的、全自动化的测试系统,可实现HBM(人体模型)、MM(机器模型)静电放电测试和LATCHUP(闩锁)测试,大大提高了测试效率,同时可进行DUT(被测器件)漏电流、I-V曲线测试,并完成失效判定
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主要特点
1.高效、全自动的测试系统
2.多模式精准测试技术、支持HBM人体模型、MM机器模型静电放电试验和LU闩锁试验
3.可实现漏电流、I-V曲线测试
4.可测试多引脚的器件,可选配256pin、512pin、768pin或更多
5.具有高精度的多通道偏置/激励源、可编程时钟信号源
6.直观、便捷的智能化软件系统
主要技术指标

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